Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Технологический процесс получения защитных пленок нитрида бора
- Авторы
- Батюня Л. П. , канд. техн. наук, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Москва, Россия
Соколов Е. Б. , д-р техн. наук, проф, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Москва, Россия
- В разделе
- ВНЕДРЕНИЕ ЭКОЛОГИЧЕСКИ БЕЗОПАСНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
- Ключевые слова
- Год
- 2006 номер журнала 2 Страницы 85 - 88
- Индекс УДК
- УДК 621.315.592:546
- Код EDN
- Код DOI
- Финансирование
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрены различные методы получения тонких боронитридных пленок. Разработан процесс ВЧ-магнетронного напыления алмазоподобных химически стойких пленок нитрида бора для повышения стабильности электрофизических свойств высокотемпературных сверхпроводящих пленочных структур.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Физико-химические свойства полупроводниковых ве-ществ. Справочник. АН СССР. - М.: Наука, 1979. - 340 с.
Yang Hangsheng, Wamoto Chihiro, Yoshida Toyo-nobu. Interface engineering of cBN films deposited on silicon substrates//J. Appl. Phys. 2003. V. 94. № 2. Р. 1248-1251.
Le V. K., Oechsner H. On the influence of substrate temperature for cubic boron nitride growth//Thin Solid Films. 2003. V. 437. № 1-2. Р. 83-88.
Danielsson O., Janzen E. Using N2 as precursor gas in 3-nitride CVP growth//J. Cryst. Growth. 2003. V. 253. № 1-4. Р. 26-37.
Накамото К. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений. - М.: Мир, 1986. - 411 с.
Батюня Л. П., Аверин А. В., Махов В. И., Соколов Е. Б. Разработка технологического процесса напыления алмазоподобных пленок для защиты элементов приборов//Сб. тр. 8-го Всесоюзного совещания "Новые материалы для микроэлектроники на основе тугоплавких соединений". - Киев-Юрмала, 1992. С. 39-41.
- Купить
