Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Управление энергетическими характеристиками ионного потока в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
- Авторы
- Клыков Илья Леонидович , аспирант, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской области, пл. Введенского 1
Шустин Евгений Германович shustin@ms.ire.rssi.ru, ведущий научный сотрудник, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской области, пл. Введенского 1
Исаев Николай Васильевич , зав. лабораторией, Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязинский филиал, 141190, г. Фрязино Московской обл., пл. Введенского 1
- В разделе
- ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
- Ключевые слова
- генерация / плазменно-пучковый разряд / ионный поток / плазмохимический реактор
- Год
- 2009 номер журнала 6 Страницы 113 - 117
- Индекс УДК
- 533.9.07
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Материалы конференций
- Аннотация
- Показано, что на основе ранее обнаруженного эффекта генерации в пучково-плазменном разряде (ПРР) ионного потока от оси разряда может быть создан плазмохимический реактор для низкоэнергетичного травления полупроводниковых структур. Здесь показана возможность простого управления плотностью и энергией ионного потока путем изменения потенциала коллектора разряда. Реализованы средства компенсации заряда ионного потока, падающего на непроводящую поверхность, с помощью модуляции потенциала держателя подложки, а также путем модуляции потенциала плазмы.
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Fernsler R. F., Manheimer W. M., Meger R. A. et al.// Phys. Plasmas. 1998. V. 5. P. 2137.
Manheimer W. M., Fernsler R. F., Lampe M., Meger R. A.// Plasma Sources Sci. Technol. 2000. V. 9. P. 370.
Leonhardt D., Muratore C., Walton S. G.// IEEE Trans. on Plasma Science. 2005. V. 33. P. 783.
Kharchenko I. F. et al.// Nucl. Fusion 1962. Suppl. Pt. 3. P. 1101.
Getty L. D., Smullin W. D.// J. Appl. Phys. 1963. V. 34. P. 3421.
Seidl M., Šunka P.// Nuclear Fusion. 1967. V. 7. P. 237.
Иванов А. А., Соболева Т. К. Неравновесная плазмохимия. - М.: Атомиздат. 1978.
Исаев Н. В., Чмиль А. И., Шустин Е. Г.// Физика плазмы. 2004. Т. 30. № 3. С. 257.
Исаев Н. В., Шустин Е. Г.// Там же. 2007. Т. 33. № 1. С. 43.
Тараканов В. П., Шустин Е. Г.// Там же. № 2. С. 151.
Исаев Н. В., Шустин Е. Г., Темирязева М. П., Тараканов В. П., Федоров Ю. В.// Прикладная физика. 2008. № 3. C. 73.
Клыков И. Л., Тараканов В. П., Шустин Е. Г.: Тез. докл. XXXVI Междунар. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС, 2009. С. 264.
Клыков И. Л., Шустин Е. Г., Тараканов В. П.// Прикладная физика. 2009. № 6. С. 87-91.
Курнаев В. А., Песков В. В., Чмиль А. И., Шустин Е. Г.: Тез. докл. XXXVI Междунар. (Звенигородской) конф. по физике плазмы и УТС, 2009. С. 316.
Курнаев В. А., Песков В. В., Чмиль А. И., Шустин Е. Г.// Прикладная физика. 2009. № 6. С. 118-122.
- Купить