Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- О взрывном способе изготовления систем металлизации и микроконтактов в БИС считывания фотосигнала
- Авторы
- Климанов Евгений Алексеевич orion@orion-ir.ru, главный научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Лисейкин Виктор Петрович orion@orion-ir.ru, старший научный сотрудник, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Седнев Михаил Васильевич orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, шоссе Энтузиастов, 46/2
Акимов Владимир Михайлович orion@orion-ir.ru, начальник отдела, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
Микертумянц Артем Рубенович orion@orion-ir.ru, начальник участка, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
Сергеев Вячеслав Владимирович orion@orion-ir.ru, инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
Шелоболин Игорь Александрович orion@orion-ir.ru, инженер, ФГУП «НПО "Орион"», Россия, 111123, Москва, шоссе Энтузиастов, 46/2
- В разделе
- ФОТОЭЛЕКТРОНИКА: ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА И ТЕХНОЛОГИЯ
- Ключевые слова
- системы / металлизация / формирование / токоведущие системы / БИС
- Год
- 2010 номер журнала 4 Страницы 99 - 101
- Индекс УДК
- УДК 621.049.77
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Рассмотрена технология "взрывного" способа изготовления токоведущих систем и микроконтактов в больших интегральных схемах (БИС).
- Полный текст статьи
- Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Список цитируемой литературы
-
Клименко А. Г., Войнов В. Г., Новоселов А. Р., Недосекина Т. Н., Васильев В. В., Захарьяш Т. И., Овсюк В. Н. Особо пластичные индиевые микростолбы для матричных ФПУ на CdHgTe// Автометрия. 1988. № 4. С. 105-112.
Jiang J., Tsao S., O'Sullivan T., Ruzeghi M., Brown G. Fabrication of indium bumps for hybrid infrared focal plane array applications// Infrared Physics & Tehnology. 2004. No. 45. P. 143-151.
Yoshio Homma, Hisao Nozawa, Seiki Harado. Polyimide Liftoff technology for High Density LSI metallization// IEEE Transactions on Electron Devices, V. ED-28. 1981. No. 5. May.
Yoshio Homma, Akio Yajima, Seiki Harado. Featuer Size Limit of Liftoff Metallization Technology// Ibid. V. ED-29. 1982. No. 4, April.
- Купить