Необходимо зарегистрироваться, чтобы получить доступ к полным текстам статей и выпусков журналов!
- Название статьи
- Продольный источник ионов с токовой автокомпенсацией фокусированного ионного пучка
- Авторы
- Бизюков Александр Анатольевич sekons@mail.ru, профессор, Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина, Украина, 61077, Харьков, пл. Свободы, 4. Тел. 38 (057) 335-37-44
Гирка Алексей Игоревич sekons@mail.ru, младший научный сотрудник, Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина, Украина, 61077, Харьков, пл. Свободы, 4. Тел. 38 (057) 335-37-44
Середа Константин Николаевич sekons@mail.ru, доцент, Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина, Украина, 61077, Харьков, пл. Свободы, 4. Тел. 38 (057) 335-37-44
Слепцов Владимир Владимирович 08fraktal@inbox.ru, профессор, Российский государственный технический университет им. К. Э. Циалковского (МАТИ), Россия, Москва, Берниковская наб., 14, стр. 2. Тел. (495) 915-33-27
Ромащенко Елена Владимировна romaschenko@bk.ru, доцент, Восточноукраинский национальный университет им. В. Даля, Украина, 91034, Луганск, кв. Молодежный, 20-а
- В разделе
- ЭЛЕКТРОННЫЕ И ИОННЫЕ ПУЧКИ
- Ключевые слова
- ионный источник / сфокусированный ионный пучок / токовая нейтрализация пучка / потенциал диэлектрической мишени
- Год
- 2011 номер журнала 5 Страницы 74 - 79
- Индекс УДК
- 621.384
- Код EDN
- Код DOI
- Тип статьи
- Научная статья
- Аннотация
- Показано, что использование баллистической фокусировки в продольном ионном источнике холловского типа позволяет преобразовать форму ионного пучка из "эллипсовидной" в линейную и увеличить плотность тока ионного пучка на обрабатываемой поверхности. Исследовано влияние поперечного магнитного поля источника и краевых эффектов на форму пучка. Разработан плазменный нейтрализатор ионного пучка на основе дополнительного несамостоятельного газового разряда магнетронного типа с использованием эффекта "полого катода".
- Полный текст статьи
- Для прочтения полного текста необходимо купить статью
- Список цитируемой литературы
-
Габович М. Д. Физика и техника плазменных источников ионов. - М.: Атомиздат, 1972.
Данилин Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. - М.: Энергоатомиздат, 1989.
Морозов А. И. Физические основы космических электрореактивных двигателей. Т. 1. Элементы динамики потоков в ЭРД. - М.: Машиностроение, 1987.
Гришин С. Д., Ерофеев В. С., Жаринов А. В. В кн.: Плазменные ускорители / Под ред. Арцимовича Л. А. - М.: Машиностроение, 1973.
Гришин С. Д., Лесков Л. В., Козлов Н. П. В кн.: Электрические ракетные двигатели. - М.: Машиностроение, 1975.
Молоковский С. И., Сушков А. Д. Интенсивные электронные и ионные пучки. - Л.: Энергия, 1972.
Gutkin M., Bizyukov A., Bizyukov I., Sleptsov V., Sereda K. United States Patent, Pub. No.US 2008/0191629 A1, Pub. Date: 08.14.2008.
Bizyukov A. A., Chibisov A. D., Sereda K. N., Romaschen-kо E. V., Nazarov A. V. // Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика плазмы (14). 2008. № 6. С. 162.
Бизюков А. А., Кашаба А. Е., Середа К. Н., Целуйко А. Ф., Юнаков Н. Н. // Письма в ЖТФ. 1997. Т. 23. № 10. С. 69.
Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. - М.: Мир, 1967.
Физические величины: Справочник / А. П. Бабичев, Н. А. Бабушкина, А. М. Братковский и др. / Под ред. И. С. Григорьева, Е. С. Мейлихова. - М.: Энергоатомиздат, 1991.
Тюрюканов П. М., Никольский А. Д., Фетисов И. К., Толстой И. Н.// ЖТФ. 1981. T. 51. № 10. С. 2028.
- Купить
- 100.00 руб
